IQ (Installation Qualification): 설치된 시스템 및 장비가 설계 사양을 충족하는지 확인

OQ (Operational Qualification): 설치된 시스템 및 장비가 정해진 운영 매개 변수를 충족하는지 확인

PQ (Performance Qualification): 시스템 및 장비가 실제 생산 환경에서 원하는 성능을 달성하는지 확인

공기 입자 측정, 온도 및 습도 제어, 압력 테스트, 조명 시스템 검사 등

ISO 14644, EU GMP Annex 1, FDA 21 CFR Part 11 등

밸리데이션 결과는 문서화되고 지속적으로 모니터링 및 평가